XYZ軸微調台
微調台上下不鏽鋼座直接加工，加工及組裝誤差極小。
採用線性滾珠軌道，多點受力方向接觸，台面精度與平滑度表現極佳。
微調台主體材質為SUS440C，表面鍍化學鎳，耐候性高。
微調台尺寸25mm~100mm，可依據需求訂做。
| 平台尺寸 | 25mm*25mm | 40mm*40mm | 60mm*60mm | 80mm*80mm | 100mm*100mm |
| 本體材質 | 不銹鋼SUS440C | ||||
| 表面處理 | 無電解鍍鎳 | ||||
| 驅動方式 | Micrometer | ||||
| 負載 | 39.2N(4kgf) | 98N(10kgf) | 196N(20kgf) | 265N(27kgf) | 343N(35kgf) |
| 移動行程 | ±3.2mm | ±6.5mm | ±12.5mm | ||
| 真直度 | 3μm | 2μm | 3μm | ||
| 滑台平行度 | 30μm | 15μm | 20μm | ||
| 運動平行度 | 10μm | 7μm | 10μm | ||
| 測微器轉一圈移動量 | 0.5mm | ||||